Les vannes d’arrêt de la série IVWF ont une structure simple, et peuvent être installées dans la ligne d’échappement sous vide d’un outil à semi-conducteurs.
La vanne coupe le flux en tournant le mécanisme de la vanne à clapet de 90°.

• Spécifications :
  • Ces vannes se caractérisent par une taille compacte et un poids léger grâce à leur structure simple, et la fixation d’une de ces vannes est facile.
  • La dimension minimale face à face facilite l’installation dans les espaces restreints.
  • Les vannes manuelles contrôlent la quantité de débit en réglant le degré d’ouverture et peuvent être réglées sur un degré d’ouverture arbitraire en fixant une vis de blocage.
  • La structure des vannes d’étranglement permet de reproduire le degré d’ouverture par des graduations sur la poignée micrométrique, et les micro-réglages sont rendus possible par un mécanisme de vis différentielle.

• Caractéristiques techniques :