Débit: 140 l/mn Pression: 4.1 bar

Avantages du système :

• Améliore les rendements de production de CMP en produisant 200 à 1000 fois moins de particules à gratter que les autres pompes
• Augmente la durée de vie du filtre dans les boucles de recirculation CMP d’un facteur allant jusqu’à 15 en générant moins de gels et de grosses particules
• Réduit les problèmes de contamination des particules dans les processus humides en générant 10 à 50 fois moins de particules
• Améliore et simplifie le contrôle du processus en éliminant les pulsations et en contrôlant avec précision le débit et la vitesse du rotor
• Augmente la disponibilité de l’équipement et réduit les coûts d’entretien en réduisant l’usure des pièces
• Augmente le temps de fonctionnement de l’équipement et réduit les coûts de maintenance dans les applications de placage en offrant une opération sans colmatage
• Économise de l’espace précieux dans les outils de traitement en ayant un très faible encombrement