Les vannes de série UXG et LG sont des vannes d’arrêt développées pour séparer le réacteur d’un système de vide pour semi-conducteurs de la chambre de transfert.

Les corps des vannes sont fabriqués en aluminium. Les vannes fonctionnent grâce à un actionneur pneumatique à double action.

Les vannes chauffées permettent de donner un système de chauffe très uniforme.

Le corps et le corps de la vanne peuvent-être réglés à une température arbitraire jusqu’à un maximum de 180°C.

• Fonctionnalités :
  • Comme la vanne peut être chauffée à haute température, elle réduit l’accumulation de contamination et l’adhérence au siège, ce qui prolonge considérablement la période de maintenance.
  • Le chauffage du corps ainsi que la vanne sont dans des canaux séparés, de sorte que les températures internes et externes peuvent être réglées individuellement.
  • Empêche la génération de particules lors des opérations d’ouverture et de fermeture.
  • Equipé d’un mécanisme de verrouillage du loquet qui maintient la valve fermée en cas d’urgence (par exemple lorsque la pression d’air de fonctionnement est perdues).

• Caractéristiques techniques :